国家02科技重大专项项目顺利通过验收
2012年12月24至26日,由我校承担的国家02科技重大专项项目“极大规模集成电路平坦化工艺与材料(2009ZX02308)”项目顺利通过总体验收。验收会议由国家02专项办公室组织召开。24日至25日,项目验收专家组专家分别对承担单位河北工业大学,协作单位复旦大学、天津晶岭微电子材料有限公司进行了现场测试。26日上午,国家02科技重大专项总体组领导、天津市科委领导及验收专家分别听取了项目及各课题负责人的工作汇报。
02专项总体组领导、任务验收组专家、财务验收组专家、校领导及我校科学技术研究院、财务处、信息工程学院等单位负责人参加了验收会议。验收会议由02专项技术总师中科院微电子研究所所长叶甜春主持。
02专项技术总师中科院微电子研究所所长叶甜春主持验收会议
会上,展永校长代表学校致辞。项目负责人刘玉岭教授代表项目承担单位做了工作报告。与会专家一致认为,项目组全面完成了合同规定的各项研究内容和任务目标,达到合同规定的技术考核指标,并取得了多项自主知识产权。研发出的低压低磨料和高化学机械平坦化速率的抛光液,具有为微电子技术进一步发展提供新型化学机械平坦化材料的潜力,推动了我国极大规模集成电路平坦化行业的科技进步和产业化发展,一致同意通过验收。
国家02科技重大专项项目顺利通过验收
在为期三天的验收工作中,任务验收组和财务验收组分组开展验收工作。任务验收专家组通过资料审查、现场测试、平台检查、质疑答辩等环节,最终讨论形成了任务验收专家组意见。财务验收组查看课题财务收支执行情况报告,审查审计报告、预算执行情况报告、财务管理制度等,通过抽查财务资料、质疑答辩等环节,最终经讨论形成了财务验收专家组意见。
展永校长致辞
天津市科委总工程师李彭越讲话
王延吉副校长出席验收会议