《中国科学报》7月12日第7版以《学以立身 尚德创新》为题，报道了我校微电子研究所所长刘玉岭教授及其所带领的团队的科研工作。全文如下： 

 

刘玉岭：学以立身 尚德创新

 

“我就是想在我有生之年，再多作出一点点高水平科技成果，再多培养几个高层次的学生，让我们在世界科技的前沿站得再高一些，领先再多一些。”

 

■本报记者 高长安 通讯员 霍占良

 

在几毫米见方的硅片上，集成数十亿个元器件，如此极大规模集成电路还需要用约为一根头发丝的千分之一的导线连接起来才能工作，这就要求基材的平整度要达到比千分之一的头发丝还要精细数倍的纳米级甚至埃米级。

 

如今，这一世界级的科技难题被河北工业大学“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”团队率先攻克，而领头人就是河北工业大学微电子研究所所长、教授刘玉岭。

 

科技兴国 肩负使命

 

1968年，刘玉岭从南开大学化学系毕业后，被分配到河北轻化科技研究所工作，1974年调入河北工学院半导体材料研究所任助教。

 

那时，我国微电子行业相对于世界先进水平还落后很多。也就是从那时候起，刘玉岭参加了天津市的大规模集成电路会战，决心为国家科技发展贡献自己的一份力量。

 

这一干就是30多年，刘玉岭与微电子研究所的科研人员一起研究出了一项又一项的重大成果。洛阳鼎晶公司加工的硅衬底，除成为神舟五号专用集成电路唯一可靠衬底材料外，也被应用于国防核禁爆材料、空空导弹定向仪材料等的超精密加工，为我国的航天事业和国防安全作出了贡献。同时，在国内多家微电子生产线上代替了美日进口产品，刘玉岭也因为成绩斐然入选国家级有突出贡献的中青年专家行列。

 

集成电路产业是高新技术最高端、最密集的行业之一，而我国是世界上最大的集成电路产品应用市场，占据全球市场40%的份额。长期以来，核心技术却掌握在别人手里。

 

以刘玉岭为带头人的项目组近几年在大规模集成电路多层布线平坦化工艺领域不断取得新突破，为我国65nm、45nm及以下节点极大规模集成电路的发展解决了化学机械平坦化关键技术核心。

 

2009年经国务院批准，作为牵头单位的河北工业大学承担了国家02重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”前瞻性应用示范项目——“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”，项目验收时专家组给予了充分肯定和高度评价，认为技术指标达到世界前列，验收成绩优秀。

 

立潮前沿 引领国际

 

在国际集成电路市场，提到美国Cabot公司无人不晓，它一直凭借高人一筹的技术优势牢牢占据着全球50%以上的市场。但最近几年，该公司却多次来到河北工业大学这所非世界著名高校与刘玉岭商谈合作事宜。

 

原来，美国Cabot公司一直采用的酸性浆料存在碟形坑、蚀坑和添加苯丙三唑引起速率低、难清洗、腐蚀设备等七大技术难题，而刘玉岭开辟了碱性的技术路线和新材料，铜膜粗抛液稀释度提高了一倍，精抛液提高了20倍，局部平坦度提高了40%以上，且不污染环境，极易清洗。克服了Cabot公司技术上存在问题的同时又达到了高性能，实现了CMP技术重大突破。该技术已在美国硅谷研发中心SVTC和台湾平坦化协会及台湾科技大学作了对比性研究，并显现了先进性。

 

刘玉岭始终把自己的目光锁定在世界微电子发展的最前沿，每看到一项新的成果，他都要首先分析现其先进在什么地方，人家的思路是怎样的，人家的理论是怎样的，采取什么样的方法，在科学地评价人家优势所在之后，还要深入分析其还有哪些不完善的地方，然后自己再想方设法去找出解决问题的办法。他不仅自己这样做，还要求自己的学生必须接近世界的技术前沿，去发现问题并通过研究找到解决的办法。

 

“只有我们自己走在了世界的前沿，我们才能够不再受制于人，也才能得到别人的正视和尊重。”

 

身教尚德 创新育才

 

在微电子研究所的楼道或者实验室的墙壁上，张贴着一张张世界科技大师的画像和他们的警世名言，这是刘玉岭有意为之，他的目的就是让自己的学生都能感受到这些大师认真的科学态度和高尚的做人品德。

 

“作为高等院校的教师，首先要培养我们学生优良的品德素质和爱国主义精神。”刘玉岭认为，要着力培养学生具备四大素质：一是有远大的目标理想，二是有很好的心理素质，三是有较高的学术意识，四是有较强的学研能力。

 

“身教重于言教，要求学生做到我们必须先做到。”

 

30多年来，刘玉岭先后主持国家、省部级科技项目30余项，发表学术论文300余篇，编著专业教材5部，培养高素质科技人才100余人，授权国家专利40余项、美国发明专利3项，获得国家发明奖5项、省部级技术发明及科技进步奖21项。为了让学生都能掌握创新规律，成为创新人才，1993年，刘玉岭就出版了创新教育著作《实用发明创造工程学》，并且作为选修课程教材，培养学生的创新意识和创新能力。

 

刘玉岭今年已经年过七旬，一般人到了这个年龄都会选择享受天伦之乐，但刘玉岭认真而又平静地说：“我就是想在我有生之年，再多作出一点点高水平科技成果，再多培养几个高层次的学生，让我们在世界科技的前沿站得再高一些，领先再多一些。”

 

《中国科学报》 (2013-07-12 第7版 学人)

 

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